การมาร์กโดยการแก้ไขโฟกัสผิดระหว่างการลำเลียงด้วยแขนกล

โดยทั่วไปแล้ว การมาร์กที่ไม่คมชัดจะเกิดขึ้นเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงระยะโฟกัสเนื่องจากความไม่ตรงแนวระหว่างการจับชิ้นงาน MD-X ซีรีส์ทำการมาร์กได้อย่างเสถียรด้วยการวัดและแก้ไขระยะโฟกัสที่จะไปยังตำแหน่งการมาร์ก