การตรวจจับตำแหน่งของร่องบาก

โดยทั่วไปแล้วจะมีการใช้เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์แบบ 1Dในการตรวจจับตำแหน่งของรอยบาก เนื่องจากเวเฟอร์มีขนาดบางลงการตรวจจับจึงเกิดปัญหาที่ลำแสงส่องไม่โดนรอยบากเมื่อมีความโก่งงอมากขึ้น แต่เลเซอร์เส้นของ LJ-V ซีรีส์จะสามารถแก้ไขความคลาดเคลื่อนที่เกิดจากความโก่งงอของเวเฟอร์ได้