การวัดโปรไฟล์ของขอบเวเฟอร์

ผู้ใช้สามารถเริ่มต้นวัดโปรไฟล์ขอบเวเฟอร์อย่างง่ายดายด้วยการเลือกเครื่องมือการตรวจสอบอย่างใดอย่างหนึ่ง เช่น ความแตกต่างของความสูง/ความกว้าง หรือมุม โดยการถ่ายภาพความละเอียดสูงพิเศษที่ใช้ 3200 จุด/โปรไฟล์จะทำให้การวัดโปรไฟล์มีความแม่นยำสูง ซึ่งวิธีการทั่วไปไม่สามารถทำได้

เลเซอร์โปรไฟล์ 2D/3D

LJ-X8000 ซีรีส์

กลับไปหน้า "การประยุกต์ใช้งานแยกตามกลุ่มอุตสาหกรรม"