หัว LM ความแม่นยำสูง LM-XC100TL2

LM-XC100TL2 - หัว LM ความแม่นยำสูง

*อุปกรณ์เสริมในภาพใช้เพื่อแสดงลักษณะการใช้งาน ซึ่งอาจไม่ได้รวมอยู่ในชุดผลิตภัณฑ์

  • CE Marking
  • CSA

ข้อมูลจำเพาะ

รุ่น

LM-XC100TL2

ชนิด

ส่วนหัว

การวัดด้วยภาพ

มุมมองภาพ

โหมดมุมกว้าง [มม.]

25 × 25

โหมดความแม่นยำสูง [มม.]

6 × 6

หน่วยแสดงผลต่ำสุด

0.1 μm

อัตราการทำซ้ำ

ภายในมุมมอง ภาพ (2σ)

โหมดการวัด แบบมุมกว้าง

0.5 μm

โหมดความ แม่นยำสูง

0.1 μm

ความแม่นยำใน การวัด

โหมดการวัด แบบมุมกว้าง

1.8 μm*1

โหมดความ แม่นยำสูง

0.7 μm*2

ความสูงของ เลเซอร์

ระยะอ้างอิง

15 มม.

อัตราการทำซ้ำ

σ ≦ 0.45 μm

เส้นผ่านศูนย์กลางลำแสง

ø10 μm

ความเป็นเชิงเส้น

±0.35 μm*3

คลาสของเลเซอร์

คลาส 1

โพรบแบบสัมผัส

อัตราการทำซ้ำ

±1 μm

แรงกดในการวัด

0.015 N*4

ความสูง AF

อัตราการทำซ้ำ

±2 μm

ระบบไฟส่องสว่าง

โปร่งใส

ไฟ LED สีเขียว, ไฟส่องสว่างโปร่งใสแบบเทเลเซนตริก

โคแอกเซียล

ไฟ LED สี, ไฟ LED สีขาว, ไฟแบบหลายมุมสี่ส่วน (ไฟฟ้า)

ไฟ LED สีเขียว, ไฟส่องสว่างด้านข้าง (ไฟฟ้า) แบบมีแหวนคั่น (กำหนดทิศทาง)

ไฟ LED สีขาว, ไฟชนิดโคแอกเซียลแบบเทเลเซนตริก

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

+10 ถึง 35 °C*5

น้ำหนัก

11 กก.

*1 ในช่วง 20 × 20 มม. ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมในการทำงานที่ +23±1°C ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส
*2 ในช่วง 5 × 5 มม. ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมในการทำงานที่ +23±1°C ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส
*3 ค่าที่วัดด้วยชิ้นงานอ้างอิงของ KEYENCE ประสิทธิภาพเลเซอร์แยกส่วน
*4 ค่าอ้างอิง
*5 +15 ถึง 35°C ที่ความเร็วในการเคลื่อนที่ของแท่นวาง XY 120 มม./วินาที

เอกสารข้อมูล (PDF) รุ่นอื่นๆ