คอนโทรลเลอร์ IM-8000

^*1 ในช่วงระหว่าง ø80 มม. ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส
^*2 ในช่วงระหว่าง 180 × 180 มม. (4× R40) ภายในอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C ที่ตำแหน่งจุดโฟกัสและที่น้ำหนักบนแท่นวาง 2 กก. หรือน้อยกว่า L คือระดับการเคลื่อนที่ของแท่นวาง (หน่วยเป็น มม.)
^*3 ในช่วงระหว่าง 280 × 180 มม. (4× R40) ภายในอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C ที่ตำแหน่งจุดโฟกัสและที่น้ำหนักบนแท่นวาง 3 กก. หรือน้อยกว่า L คือระดับการเคลื่อนที่ของแท่นวาง (หน่วยเป็น มม.)
^*4 ในช่วงระหว่าง ø20 มม. ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส
^*5 ในช่วงระหว่าง 120 × 120 มม. ภายในอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C ที่ตำแหน่งจุดโฟกัสและที่น้ำหนักบนแท่นวาง 2 กก. หรือน้อยกว่า L คือระดับการเคลื่อนที่ของแท่นวาง (หน่วยเป็น มม.)
^*6 ในช่วงระหว่าง 220 × 120 มม. ภายในอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C ที่ตำแหน่งจุดโฟกัสและที่น้ำหนักบนแท่นวาง 3 กก. หรือน้อยกว่า L คือระดับการเคลื่อนที่ของแท่นวาง (หน่วยเป็น มม.)
^*7 ภายในช่วง L18 มม. × ø60 มม. ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส โดยที่ชิ้นงานอยู่กึ่งกลางมุมมองภาพของเลนส์ และทิศทางของแกนชิ้นงานหันไปในทิศทางแนวนอนของมุมมองภาพของเลนส์ ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C โดยที่ D คือระยะของทิศทาง Y (หน่วยเป็น มม.)
^*8 ภายในช่วง L118 มม. × ø60 มม. ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส โดยที่ชิ้นงานอยู่กึ่งกลางมุมมองภาพของเลนส์ และทิศทางของแกนชิ้นงานหันไปในทิศทางแนวนอนของมุมมองภาพของเลนส์ ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C โดยที่ D คือระยะของทิศทาง Y (หน่วยเป็น มม.)
^*9 ภายในช่วง L218 มม. × ø60 มม. ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส โดยที่ชิ้นงานอยู่กึ่งกลางมุมมองภาพของเลนส์ และทิศทางของแกนชิ้นงานหันไปในทิศทางแนวนอนของมุมมองภาพของเลนส์ ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C โดยที่ D คือระยะของทิศทาง Y (หน่วยเป็น มม.)
^*10 ภายในช่วง L6 มม. × ø20 มม. ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส โดยที่ชิ้นงานอยู่กึ่งกลางมุมมองภาพของเลนส์ และทิศทางของแกนชิ้นงานหันไปในทิศทางแนวนอนของมุมมองภาพของเลนส์ ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C โดยที่ D คือระยะของทิศทาง Y (หน่วยเป็น มม.)
^*11 ภายในช่วง L106 มม. × ø20 มม. ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส โดยที่ชิ้นงานอยู่กึ่งกลางมุมมองภาพของเลนส์ และทิศทางของแกนชิ้นงานหันไปในทิศทางแนวนอนของมุมมองภาพของเลนส์ ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C โดยที่ D คือระยะของทิศทาง Y (หน่วยเป็น มม.)
^*12 ภายในช่วง L206 มม. × ø20 มม. ที่ตำแหน่งจุดโฟกัส โดยที่ชิ้นงานอยู่กึ่งกลางมุมมองภาพของเลนส์ และทิศทางของแกน ชิ้นงานหันไปในทิศทางแนวนอนของมุมมองภาพของเลนส์ ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C โดยที่ D คือระยะของทิศทาง Y (หน่วยเป็น มม.)
^*13 เมื่อระบบตรวจจับเป็นมาตรฐาน หากระบบตรวจจับอยู่ในตำแหน่งลึกจะเท่ากับ ±3 μm
^*14 เมื่อระบบตรวจจับเป็นมาตรฐานภายในอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C และที่น้ำหนักบนแท่นวาง 2 กก. หรือน้อยกว่า หากระบบตรวจจับอยู่ในตำแหน่งลึก ให้ ±(10 + 0.02 L) μm โดยค่า L คือความยาวของการวัด (หน่วยเป็น มม.)
^*15 เมื่อระบบตรวจจับเป็นมาตรฐาน ภายในอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23 ±1°C และที่น้ำหนักบนแท่นวาง 3 กก. หรือน้อยกว่า หากระบบตรวจจับอยู่ในตำแหน่งลึก ให้ ±(10 + 0.02 L) μm โดยค่า L คือ ความยาวของการวัด (หน่วยเป็น มม.)