หัวตรวจวัด VK-X4100

รุ่น

VK-X4100

ชนิด

หัวตรวจวัด

กำลังขยายทั้งหมด

42× ถึง 28,800× ^*1

มุมมองภาพ

11 ถึง 7,398 μm

หลักการวัด

เลเซอร์คอนโฟคอล Focus Variation และ White light interferometry Spectral Interference

ความยาวคลื่นเลเซอร์

เซมิคอนดักเตอร์เลเซอร์ 404 nm

ความเร็วในการวัดด้วยเลเซอร์ สูงสุด

พื้นผิว: 125 Hz, เส้น: 7,900 Hz ^*2

เอาต์พุตเลเซอร์ สูงสุด

1.0 mW

คลาสของเลเซอร์

Class 2 (IEC60825-1)

ส่วนรับแสงเลเซอร์

โฟโต้มัลติพลายเออร์ 16 บิต

แหล่งกำเนิดแสงสีขาว

ไฟ LED สีขาว

ส่วนรับแสงสีขาว

CMOS สีความคมชัดสูง

เลเซอร์คอนโฟคอล

ความละเอียดการแสดงผลความสูง

0.1 nm

อัตราการวัดความสูงซ้ำ σ

10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 12 nm

ความแม่นยำของความสูง

ไม่เกิน 0.2+L/100 μm ^*3

ความละเอียดแสดงผลความกว้าง

0.1 nm

อัตราการวัดความกว้างซ้ำ 3σ

10×: 200 nm, 20×: 100 nm, 50×: 40 nm

ความแม่นยำของความกว้าง

ค่าที่วัดได้ไม่เกิน ±2% ^*3

การเปลี่ยนแปลงโฟกัส

ความละเอียดการแสดงผลความสูง

0.1 nm

อัตราการวัดความสูงซ้ำ σ

5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 20 nm

ความแม่นยำของความสูง

ไม่เกิน 0.2+L/100 μm ^*3

ความละเอียดแสดงผลความกว้าง

0.1 nm

อัตราการวัดความกว้างซ้ำ 3σ

5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 50 nm

ความแม่นยำของความกว้าง

ค่าที่วัดได้ไม่เกิน ±2% ^*3

การแทรกสอดแสงสีขาว

ความละเอียดการแสดงผลความสูง

0.01 nm

ความละเอียดแสดงผลความกว้าง

0.1 nm

อัตราการวัดความสูงต่ำของพื้นผิวซ้ำ

0.08 nm ^*4

อัตราการทำซ้ำของ RMS

0.008 nm ^*4

การวัดความหนาของฟิล์มการป้องกันสเปกตรัม

อัตราการทำซ้ำ σ

0.1 nm ^*4

ความแม่นยำ

±0.6% ^*4

การตรวจสอบแบบ ออปติคอล

จำนวนพิกเซล

5.6 ล้าน

ชุดหมุน

ชุดหมุนไฟฟ้า 6 รู

เลนส์ไฟรูปวงแหวน

2.5×, 5×, 10×

ซูมแบบออปติคอล

1 ถึง 8×

แหล่งจ่ายไฟ

แรงดันไฟ

100 ถึง 240 VAC, 50/60 Hz

การสิ้นเปลืองกำลังไฟ

150 VA

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

+15 ถึง 28°C

ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน

20 ถึง 80% RH (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)

น้ำหนัก

ประมาณ 13 กก.