การตรวจจับตำแหน่งรอยบากบนเวเฟอร์

Position detection of wafer notches

วิชันซิสเต็มตรวจจับตำแหน่งการหมุนของรอยบากบนเวเฟอร์

ความละเอียด 5 เมกะพิกเซลของกล้องและอัลกอริธึมในตัวของเครื่องมือรอยตำหนิที่ขอบทำให้สามารถตรวจจับรอยบากได้อย่างมีเสถียรภาพและยังควบคุมตำแหน่งและข้อมูลของขนาดได้ด้วย

คุณประโยชน์

มีการใช้กล้องขนาด 2 เมกะพิกเซลในการตรวจจับตำแหน่งรอยบาก แต่อัตราการทำซ้ำของกล้องนั้นไม่มีเสถียรภาพ ด้วยการใช้ระบบ XG ซีรี่ส์กล้องความเร็วสูงขนาด 5 เมกะพิกเซล และเครื่องมือรอยตำหนิที่ขอบ ใหม่ ทำให้สามารถระบุตำแหน่งของรอยบากได้อย่างมีเสถียรภาพ

วิชันซิสเต็มที่ใช้งานง่าย