ส่วนหัว รุ่นเลเซอร์หลายสีและโพรบแบบสัมผัส LM-X100TL

รุ่น

LM-X100TL

ชนิด

ส่วนหัว

อิมเมจเซนเซอร์

CMOS ชนิดขาวดำ 20 เมกะพิกเซลขนาด 1 นิ้ว

เลนส์ตัวรับ

เลนส์เทเลเซนตริกแบบคู่

การวัดด้วยภาพ

มุมมองภาพ

โหมดการวัดแบบมุมกว้าง

325 มม. × 175 มม.

โหมดการวัดความแม่นยำสูง

306 มม. × 156 มม.

หน่วยต่ำสุดในการแสดงผล

0.1 μm

อัตราการทำซ้ำ

อยู่ในมุมมองภาพของ กล้อง (2σ)

โหมดการวัดแบบมุมกว้าง

±0.5 μm

โหมดการวัดความแม่นยำสูง

±0.1 µm

มีการเคลื่อนที่ของ แท่นวาง

แกน X/Y

±0.9 µm

ระนาบ X/Y

ความแม่นยำในการวัด

อยู่ในมุมมองภาพของ กล้อง (2σ)

โหมดการวัดแบบมุมกว้าง

±2 µm ^*1

โหมดการวัดความแม่นยำสูง

±0.7 µm ^*2

มีการเคลื่อนที่ของ แท่นวาง

แกน X/Y (EUX,MPE , EUY,MPE)

±(1.8 + 0.02 L) µm ^*3

ระนาบ X/Y (EUXY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L) µm ^*3

การวัดความสูง

อัตราการทำซ้ำ

±2 µm

ความแม่นยำในการตรวจวัด (EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L) µm ^*4

การวัดความสูงของเลเซอร์

ช่วงการวัด (X/Y)

239 มม. × 146 มม.

หน่วยต่ำสุดในการแสดงผล

0.1 μm

อัตราการทำซ้ำ

±0.6 µm ^*5

ความแม่นยำในการตรวจวัด (EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L) µm ^*4

เส้นผ่านศูนย์กลางลำแสง

ø50 µm

คลาสของเลเซอร์

คลาส 1

การวัดด้วยโพรบแบบสัมผัส

ช่วงการวัด (X/Y)

248 มม. × 141 มม.

แรงการวัด

0.015 N ^*6

หน่วยต่ำสุดในการแสดงผล

0.1 μm

อัตราการทำซ้ำ

แกน X/Y

±1.4 µm

ระนาบ X/Y

แกน Z

ความแม่นยำ ในการวัด

แกน X/Y (EUX,MPE , EUY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L) µm ^*7

ระนาบ X/Y (EUXY,MPE)

±(3.8 + 0.02 L) µm ^*7

แกน Z (EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L) µm ^*4

อินพุตระยะไกลจากภายนอก

อินพุตแบบไม่มีแรงดันไฟฟ้า (สัมผัสและไม่สัมผัส)

เอาต์พุตภายนอก

OK/NG/FAIL/MEAS.

เอาต์พุต PhotoMOS
อัตราการโหลด: 24 VDC, 0.5 A
ความต้านทานขณะ ON: 50 mΩ หรือต่ำกว่า

ระบบไฟส่องสว่าง

แบบโปร่งใส

ไฟ LED สีเขียวโปร่งใสเทเลเซนตริก

วงแหวน

ไฟ LED สี/ไฟ LED สีขาวแบบหลายมุมสี่ช่อง (ไฟฟ้า)
ไฟ LED สีเขียวด้านข้าง (ไฟฟ้า) แบบแหวนคั่น (ทิศทาง)
ไฟ LED สีขาวแบบโคแอกเซียลเทเลเซนตริก

การควบคุมแสงภายนอก

การควบคุมความเข้มแสง

การควบคุม PWM, 100 kHz

แรงดันไฟฟ้าเอาต์พุต

12 VDC

กระแสเอาต์พุต

1.6 A (สูงสุด)

แท่นวาง XY

ระยะเลื่อน

300 มม. × 150 มม.
(แบบมอเตอร์)

รับน้ำหนักได้

7 กก.

แท่นวาง Z

ระยะเลื่อน

75 มม. (ไฟฟ้า)

แหล่งจ่ายไฟ

แรงดันไฟ

100 ถึง 240 VAC ±10% (50/60 Hz)

การสิ้นเปลืองกำลังไฟ

150 VA หรือน้อยกว่า

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

+10 ถึง 35°C ^*8

ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน

20 ถึง 80% RH (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)

ประเภทแรงดัน ไฟฟ้าเกิน

ll

ระดับมลภาวะ

2

น้ำหนัก

ประมาณ 35 กก.