การกำจัดไฟฟ้าสถิตที่เชื่อถือได้ในสภาพแวดล้อมการทดสอบแผ่นเวเฟอร์ โดยการติดตั้งเซนเซอร์ป้อนกลับไว้ใกล้กับชิ้นงานเพื่อการตรวจสอบที่ต่อเนื่องบนพื้นที่เป้าหมาย
กำจัดไฟฟ้าสถิตได้อย่างรวดเร็วเป็นบริเวณกว้าง การบันทึกผลการกำจัดไฟฟ้าสถิตในระหว่างการลอกจะช่วยให้ระบุสาเหตุของปัญหาได้
การใช้ระบบกำจัดไฟฟ้าสถิตความเร็วสูงเพื่อป้องกันการคายประจุในระหว่างการปล่อยแม่พิมพ์จะช่วยลดการบำรุงรักษาที่มีความจำเป็นกับอุปกรณ์ทั่วไป
สมดุลของประจุไอออนประสิทธิภาพสูงที่ ±1 V ทำให้ใช้งานอุปกรณ์ได้อย่างปลอดภัยในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทุกแห่ง ทั้งยังสามารถตรวจสอบผลการกำจัดไฟฟ้าสถิตที่ผ่านมาเพื่อระบุช่วงเวลาที่ได้รับผลกระทบในกรณีที่มีปัญหาได้อีกด้วย
เครื่องกำจัดไฟฟ้าสถิตโดยไม่ใช้ลมและประหยัดพลังงานจะช่วยลดการใช้ลมในโรงงานพร้อมกับช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพการกำจัดไฟฟ้าสถิตขั้นสูง
การติดตั้งเครื่องกำจัดไฟฟ้าสถิตในห้องเป่าลมจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการขจัดฝุ่นได้ เนื่องจากเป็นพื้นที่ที่มีความเสี่ยงสูงสุดที่จะมีอนุภาคแปลกปลอมเข้าไปในห้องคลีนรูม
ติดต่อ KEYENCE สำหรับรายละเอียดเพิ่มเติม