
เมื่อต้องการวัดความโก่งงอ เครื่องมือวัดที่ใช้วิธีการป้องกันสเปกตรัมก็สามารถใช้สำหรับการตรวจจับในสามจุดได้ ค่าที่วัดได้จากแต่ละจุดจะถูกส่งไปยังคอนโทรลเลอร์ ซึ่งจะทำการคำนวณเพื่อส่งกลับผลการวัด
จุดสังเกตในการเลือก
- ความแม่นยำสูงพิเศษด้วยความละเอียด 1 nm
- ไม่ได้รับผลกระทบจากอุณหภูมิแวดล้อม