ชนิดและคุณสมบัติของเครื่องมือวัด

มิเตอร์วัดความหยาบ

ภาพรวม

มิเตอร์วัดความหยาบ หรือที่เรียกกันว่า “มิเตอร์วัดความหยาบของพื้นผิว” คือเครื่องมือในการวัดความราบเรียบ (ระดับของความหยาบ) ของพื้นผิวชิ้นงาน มิเตอร์ส่วนใหญ่จะใช้โพรบหรือเลเซอร์ โดยทั่วไปแล้ว รุ่นที่ได้รับความนิยมจะใช้โพรบที่เป็นเพชร แต่มิเตอร์แบบออปติคัลได้รับความนิยมมากขึ้นเนื่องจากความกังวัลว่าโพรบที่เป็นเพชรจะทำให้พื้นผิวของเซมิคอนดักเตอร์และอื่นๆ ที่คล้ายกันเกิดความเสียหายในระหว่างการวัด บางรุ่นสามารถวัดได้ทั้งพื้นผิวเรียบและโค้ง ในปัจจุบันก็ได้มีการผลิตรุ่นที่สามารถแสดงภาพ 3D ของรูปร่างจากข้อมูลที่วัดได้จากพื้นผิวออกมาด้วยเช่นกัน
ตัวอย่างการประยุกต์ใช้งานมิเตอร์วัดความหยาบ รวมถึงการตรวจสอบความสึกหรอของพื้นผิวโลหะ การตรวจสอบพื้นผิวที่ถูกตัด และการตรวจสอบการเคลือบสี เมื่อมีการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์โดยใช้ฟิล์มบางมากขึ้นเรื่อยๆ มิเตอร์วัดความหยาบบางรุ่นจึงสามารถวัดได้ละเอียดถึงระดับนาโนเมตร

โครงสร้างและการประยุกต์ใช้งาน

โครงสร้างและการใช้งานมิเตอร์วัดความหยาบ
A
ขาตั้งแนวตั้ง
B
ยูนิตไดรฟ์
C
สไตลัส (อุปกรณ์ตรวจจับ)
D
แท่นวางชิ้นงาน
  • โดยทั่วไปแล้ว ปลายของโพรบจะมีรัศมีขนาด 2 μm แต่สำหรับผลิตภัณฑ์ที่ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูง โดยทั่วไปแล้วก็จะใช้โพรบที่มีปลายขนาด 0.1 ถึง 0.5 μm อาจเปิดความแปรผันของค่าที่วัดได้โดยขึ้นอยู่กับโพรบที่ใช้งาน ดังนั้นสิ่งสำคัญคือการตรวจสอบล่วงหน้าว่าปลายของโพรบเหมาะสมหรือไม่

วิธีการใช้มิเตอร์วัดความหยาบ

  1. มิเตอร์วัดความหยาบชนิดสัมผัสจะวัดความหยาบของพื้นผิวด้วยการใช้โพรบไล่ไปตามพื้นผิวของชิ้นงาน แต่มิเตอร์วัดความหยาบชนิดไม่สัมผัสที่ใช้เลเซอร์จะยิงลำแสงเลเซอร์ไปที่ชิ้นงานและตรวจจับแสงที่สะท้อนออกมาเพื่อวัดความหยาบ
  2. ทิศทางของการวัดคือสิ่งสำคัญที่จะทำให้การวัดประสบความสำเร็จ ตัวอย่างเช่น โดยทั่วไปแล้วจะวัดผลิตภัณฑ์โลหะที่ผ่านกระบวนการตั้งฉากกับทิศทางของกระบวนการผลิต ด้วยเหตุนี้มิเตอร์วัดความหยาบจึงตรวจจับลักษณะของพื้นผิวได้อย่างน่าเชื่อถือมากกว่า
  3. นอกจากนี้ ความเร็วในการวัดก็เป็นสิ่งสำคัญสำหรับการวัดที่แม่นยำด้วยเช่นกัน ในระยะแรกจะทำการวัดอย่างช้าๆ และเพิ่มความเร็วขึ้นจนไม่มีความผันแปรเกิดขึ้นในค่าที่วัดได้

ข้อควรระวังในการใช้งาน

  • จำเป็นจะต้องมีการปรับเทียบเป็นระยะเพื่อการวัดที่ถูกต้อง

หน้าหลัก