มิเตอร์วัดความหยาบ
ภาพรวม
มิเตอร์วัดความหยาบ หรือที่เรียกกันว่า “มิเตอร์วัดความหยาบของพื้นผิว” คือเครื่องมือในการวัดความราบเรียบ (ระดับของความหยาบ) ของพื้นผิวชิ้นงาน มิเตอร์ส่วนใหญ่จะใช้โพรบหรือเลเซอร์ โดยทั่วไปแล้ว รุ่นที่ได้รับความนิยมจะใช้โพรบที่เป็นเพชร แต่มิเตอร์แบบออปติคัลได้รับความนิยมมากขึ้นเนื่องจากความกังวัลว่าโพรบที่เป็นเพชรจะทำให้พื้นผิวของเซมิคอนดักเตอร์และอื่นๆ ที่คล้ายกันเกิดความเสียหายในระหว่างการวัด บางรุ่นสามารถวัดได้ทั้งพื้นผิวเรียบและโค้ง ในปัจจุบันก็ได้มีการผลิตรุ่นที่สามารถแสดงภาพ 3D ของรูปร่างจากข้อมูลที่วัดได้จากพื้นผิวออกมาด้วยเช่นกัน
ตัวอย่างการประยุกต์ใช้งานมิเตอร์วัดความหยาบ รวมถึงการตรวจสอบความสึกหรอของพื้นผิวโลหะ การตรวจสอบพื้นผิวที่ถูกตัด และการตรวจสอบการเคลือบสี เมื่อมีการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์โดยใช้ฟิล์มบางมากขึ้นเรื่อยๆ มิเตอร์วัดความหยาบบางรุ่นจึงสามารถวัดได้ละเอียดถึงระดับนาโนเมตร
โครงสร้างและการประยุกต์ใช้งาน

- A
- ขาตั้งแนวตั้ง
- B
- ยูนิตไดรฟ์
- C
- สไตลัส (อุปกรณ์ตรวจจับ)
- D
- แท่นวางชิ้นงาน
- โดยทั่วไปแล้ว ปลายของโพรบจะมีรัศมีขนาด 2 μm แต่สำหรับผลิตภัณฑ์ที่ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูง โดยทั่วไปแล้วก็จะใช้โพรบที่มีปลายขนาด 0.1 ถึง 0.5 μm อาจเปิดความแปรผันของค่าที่วัดได้โดยขึ้นอยู่กับโพรบที่ใช้งาน ดังนั้นสิ่งสำคัญคือการตรวจสอบล่วงหน้าว่าปลายของโพรบเหมาะสมหรือไม่
วิธีการใช้มิเตอร์วัดความหยาบ
- มิเตอร์วัดความหยาบชนิดสัมผัสจะวัดความหยาบของพื้นผิวด้วยการใช้โพรบไล่ไปตามพื้นผิวของชิ้นงาน แต่มิเตอร์วัดความหยาบชนิดไม่สัมผัสที่ใช้เลเซอร์จะยิงลำแสงเลเซอร์ไปที่ชิ้นงานและตรวจจับแสงที่สะท้อนออกมาเพื่อวัดความหยาบ
- ทิศทางของการวัดคือสิ่งสำคัญที่จะทำให้การวัดประสบความสำเร็จ ตัวอย่างเช่น โดยทั่วไปแล้วจะวัดผลิตภัณฑ์โลหะที่ผ่านกระบวนการตั้งฉากกับทิศทางของกระบวนการผลิต ด้วยเหตุนี้มิเตอร์วัดความหยาบจึงตรวจจับลักษณะของพื้นผิวได้อย่างน่าเชื่อถือมากกว่า
- นอกจากนี้ ความเร็วในการวัดก็เป็นสิ่งสำคัญสำหรับการวัดที่แม่นยำด้วยเช่นกัน ในระยะแรกจะทำการวัดอย่างช้าๆ และเพิ่มความเร็วขึ้นจนไม่มีความผันแปรเกิดขึ้นในค่าที่วัดได้
ข้อควรระวังในการใช้งาน
- จำเป็นจะต้องมีการปรับเทียบเป็นระยะเพื่อการวัดที่ถูกต้อง