ดิจิตอลอัลตราโซนิค เซนเซอร์กำลังแรงสูง

เซนเซอร์สามารถตรวจจับแผ่นเวเฟอร์ที่เต็มไปด้วยละอองไอน้ำได้อย่างแม่นยำ แม้ว่าจะอยู่ในสภาวะแวดล้อมที่มีไอน้ำหลังจากกระบวนการตัด

ด้วยเหตุที่แผ่นซับสเตรตมีสีและร่องขนาดเล็ก ทำให้การตรวจจับด้วยโฟโตอิเล็กทริคเซนเซอร์ทั่วไป ไม่มีความเสถียรและแสดงค่าที่ไม่คงที่ FW ซีรี่ส์สามารถตรวจจับได้อย่างแม่นยำโดยไม่ได้รับผลกระทบจากสีหรือร่องขนาดเล็กของแผ่นซับสเตรต

เนื่องจากความโปร่งใสและผิวที่ไม่มีความสม่ำเสมอ ทำให้การตรวจจับด้วยด้วยโฟโตอิเล็กทริคเซนเซอร์เป็นไปด้วยความยากลำบาก FW ซีรี่ส์สามารถตรวจจับได้อย่างแม่นยำ โดยไม่ได้รับผลกระทบจากการนูนขึ้นหรือยุบลงของชิ้นงาน นอกจากนี้ ยังสามารถนำเอาต์พุตที่ตรวจจับได้ทั้ง 2 ค่ามากำหนดเอาต์พุตของขีดจำกัดบนและขีดจำกัดล่างแยกกันได้อีกด้วย

การตรวจจับมีความยากลำบาก เนื่องจากความสูงที่แตกต่างกันเพียงเล็กน้อยระหว่างแผ่นเวเฟอร์ที่บางมากกับพื้นฉากหลัง FW ซีรี่ส์สามารถตรวจจับได้อย่างแม่นยำด้วยการยิงคลื่นอัลตราโซนิคจากทิศทางที่เอียงเป็นมุม เพื่อให้คลื่นเกิดการสะท้อนออกเพียงเล็กน้อยจากขอบของชิ้นงาน

FW ซีรี่ส์สามารถใช้ตรวจจับเวเฟอร์ที่เหลืออยู่ การตรวจจับโดยใช้เซนเซอร์ชนิด Reflective จะมียากลำบากเนื่องจากแสงจะถูกฟิล์มผิวหน้าของเวเฟอร์ดูดกลืนหายไป FW ซีรี่ส์จะไม่ได้ผลกระทบจากฟิล์มผิวหน้าหรือฉากหลังที่มันวาวแต่อย่างใด

FW ซีรี่ส์ใช้ในการควบคุมระดับของเหลว โดยสามารถนำเอาต์พุตที่ตรวจจับได้ทั้ง 2 ค่ามากำหนดเอาต์พุตของขีดจำกัดบนและขีดจำกัดล่างแยกกันได้อีกด้วย นอกจากนี้ โหมดการตรวจจับระดับของเหลวแบบพิเศษยังช่วยให้คุณสามารถควบคุมด้านต่างๆ ได้อย่างหลากหลายด้วยการตั้งค่าอย่างง่ายๆ